Integration of III-nitrides with Silicon MEM Technology

admin Last updated on: May 8, 2023

Integration of III-nitrides with Silicon MEM Technology

    Microelectromechanical devices integrating mechanical elements, sensors, actuators and electronics on a common silicon substrate through the utilisation of microfabrication technology.

    1.4m II-V semiconductor processing cluster tool for GaN microfabrication:
  • Reactive ion etching
  • CVD dielectrics
  • PVD metallisation
    Support of STS Ltd is gratefully acknowledged

Previous slide Next slide Back to first slide View graphic version

Related posts

Top 3 cầu thủ cao nhất thế giới – Cập nhật năm 2023

Top 3 cầu thủ cao nhất thế giới – Cập nhật năm 2023

Cầu thủ cao nhất thế giới là những người thu hút sự chú ý trong làng bóng đá. Sở...

Top 3 cầu thủ đắt giá nhất thế giới trong năm 2023

Top 3 cầu thủ đắt giá nhất thế giới trong năm 2023

Cầu thủ đắt giá nhất thế giới là ai? Trong cập nhật gần đây nhất của Transfermarkt, Kylian Mbappe...

Top 3 cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất cho ĐTQG năm 2023

Top 3 cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất cho ĐTQG năm 2023

Cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất cho đội tuyển quốc gia luôn là chủ đề nhận được nhiều...

Gallium Nitride

Gallium Nitride

Gallium Nitride A man-made material Designed by scientists/engineers A new material made to measure Example of a designed material...

Domestic and Office Lighting

Domestic and Office Lighting

Domestic and Office Lighting Need to increase efficiency of white LED Decrease cost 20% of UK electricity is for...

Gallium Nitride

Gallium Nitride

This Years Sterling Lecture: Gallium Nitride Probably the most important new electronic material since silicon Can have GaN LEDs...