Integration of III-nitrides with Silicon MEM Technology

admin Last updated on: May 8, 2023

Integration of III-nitrides with Silicon MEM Technology

    Microelectromechanical devices integrating mechanical elements, sensors, actuators and electronics on a common silicon substrate through the utilisation of microfabrication technology.

    1.4m II-V semiconductor processing cluster tool for GaN microfabrication:
  • Reactive ion etching
  • CVD dielectrics
  • PVD metallisation
    Support of STS Ltd is gratefully acknowledged

Previous slide Next slide Back to first slide View graphic version

Related posts

Top 3 cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất thế giới hiện nay

Top 3 cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất thế giới hiện nay

Cầu thủ ghi nhiều bàn thắng nhất thế giới là những cầu thủ có thành tích thi đấu rất...

Newcastle University

Newcastle University

Over the years, the following public lectures have been given as part of the Sterling Group lecture tours. 2013:  Vietnam Engineering...

Domestic and Office Lighting

Domestic and Office Lighting

Domestic and Office Lighting Today Light bulbs – lifetime 1,000 hours Fluorescent tubes – lifetime 10,000 hours Contain Hg....

Malaysia / Singapore 2005

Malaysia / Singapore 2005

The March 2005 Sterling Group lecture tour to S.E. Asia visited two centres, Singapore and Kuala Lumpur, during the...

GaN and Global Warming

GaN and Global Warming

GaN and Global Warming If sea levels rise – problems for low lying land Solution to environmental problems –...

Top 3 cầu thủ vĩ đại nhất thế giới mọi thời đại 2023

Top 3 cầu thủ vĩ đại nhất thế giới mọi thời đại 2023

Cầu thủ vĩ đại nhất thế giới là biểu tượng của sự xuất sắc và tài năng vượt trội....